Ralph Mirebs (ralphmirebs) wrote,
Ralph Mirebs
ralphmirebs

Category:

Россия: Технохимия кремния

Сегодняшняя статья будет без философии и абстрактного предисловия. Просто хочу показать вам заброшенный участок по производству интегральных чипов. Здесь изготавливались кристаллы для микросхем КР1821РУ55Б, М1821ВИ85А, М1821ВИ54, 1564ИЕ19 и др. Последний год производства 1993-ий, после чего участок встал и оставался заброшенным более 25 лет. На фотографиях состояние не слишком давнего времени. Считаю, что с учётом российского отношения к заброшенным местам (а именно - тащи всё, что тащится и ломай всё, что ломается), цех сохранился очень даже не плохо. Я не стану нагружать текст подробной лекцией про то, как изготавливают чипы, но и без комментариев фотографии не оставлю.




Монокристаллы кремния выращиваются на специальных производствах, а затем алмазной пилой разрезаются на тонкие пластины. Далее, пластины проходят несколько этапов шлифовки и лишь после отправляются на участки производства интегральных схем. При изготовлении интегральных схем используется групповой метод производства, что предполагает изготовление на одной полупроводниковой пластине большого количества однотипных интегральных схем и одновременную обработку десятков таких пластин. На фотографии ниже видно, что получают - круглую пластину с матрицей чипов. После завершения цикла изготовления пластины разрезаются в двух взаимно перпендикулярных направлениях на отдельные кристаллы каждый из которых представляет собой отдельную интегральную схему.




Чтобы создать участки интегральной схемы, используется процесс фотолитографии. Поскольку при этом нужно обрабатывать не всю поверхность подложки (пластины), то надо использовать так называемые маски, которые влияют только на определённые участки. Интегральные схемы имеют десятки слоёв, и для каждого из них требуется своя маска. На фотографии можно увидеть маски к разным чипам.






Производство чипов заключается в наложении тонких слоёв со сложным "узором" на кремниевые подложки. Нанесением и удалением специальных веществ на (и с) разные участки получаем определённую структуру на поверхности кремния. Для автоматизации процессов в СССР были созданы установки Лада-Электроника. Внешне они выделяются оранжево-белыми корпусами. На линиях можно проводить отмывку пластин; травление слоев; удаление фоторезиста с окисленных и металлизированных подложек.












После проводятся дополнительные процессы фотолитографии, с разными материалами, пока не будет получена желаемая трёхмерная структура. Для внесения примесей в слои кремния применяют диффузионные термические установки. В зависимости от газа, они позволяют в проводить окисление подложек, загонку фосфора или бора, отжиг, газовое травление. Лотки с подложками загружают в кварцевую трубку, рабочая зона которой размещена внутри высокотемпературной печи. В трубу подается диффузант, переносимый газом-носителем (аргоном или азотом) и поток кислорода. На фотографиях автоматизированная диффузионная система модели АДС-6-100.
















Вот, что позади АДС-6-100. Да, она весьма длинная - на фото вошла от силы половина. А на второй фотографии те самые кварцевые трубки в другом конце цеха.






Производство интегральных схем это не только химико-технологические процессы, но и оптические. В частности, нужно проецировать изображения с фотошаблонов на пластины, выполнять мультипликацию уменьшенного изображения топологии на заготовку и пр. На фотографиях представлена часть такого оборудования, а так-же пара лазерных эллипсометров для контроля параметров.


















Местами свалено контрольно-измерительное оборудование, в частности устройства для разбраковки полупроводниковых пластин Зонд-А4М и A5












Значительное число станков последующих операций (сварка, корпусирование) за четверть века было развандалено сотрудниками в поисках драг. металлов.
















Но общее станков количество впечатляет. Мёртвые с кремнием вдоль цеха стоят...








Отдельные кадры - домик для перфоленты, ящик с ЗИПом для ЭВМ Саратов-2






Напоследок, ассорти того, за что зацепился объектив фотоаппарата. Возможно, как и я, кто-то увидит что-то знакомое.















Tags: Промзона
Subscribe
  • Post a new comment

    Error

    default userpic

    Your reply will be screened

    Your IP address will be recorded 

    When you submit the form an invisible reCAPTCHA check will be performed.
    You must follow the Privacy Policy and Google Terms of use.
  • 94 comments
Previous
← Ctrl ← Alt
Next
Ctrl → Alt →

Anonymous

October 31 2018, 18:06:12 UTC 1 year ago

Жалко до слез.

ed_jan_lt

November 1 2018, 13:02:04 UTC 1 year ago Edited:  November 1 2018, 14:44:33 UTC

Жалко, что за четверть века никому эти помещения так и не понадобились. Шо, сложно металлолом сдать в утиль, а комнаты перекрасить в нормальный цвет да сдать хоть под барахолку? Неужто в России вообще не слышали таких слов как бизнес, предпринимательство?

ralphmirebs

1 year ago

ed_jan_lt

1 year ago

ralphmirebs

1 year ago

ed_jan_lt

1 year ago

wandering_glare

1 year ago

wandering_glare

1 year ago

Anonymous

1 year ago

Дмитрий Шпурик

8 months ago

ПЛ-150М detected! ;)
Точняк!

antoschka_smtrt

1 year ago

ralphmirebs

1 year ago

Это же сверх чистые помещения?
Ну да, там весь потолок вытяжки. Но техпроцесс не очень мелкий, возможно требования по пылинкам слабее, чем может казаться

serokoy

1 year ago

ralphmirebs

1 year ago

М-да, очень, очень печальное зрелище. А ведь когда-то я работал на КПА-1200 и "Картимат" + ручная нарезка на столах. Конечно это были не "микрухи", но для схем СВЧ хватало.
Теперь это никому не нужно.
Время другое.
А где это?
Я даже не представляю, какого нереального бабла это по тем временам стоило.
А теперь просто металлом.
....да было время и были энтузиасты -а сегодня у вы .....
КР1821РУ55Б, - какая-то память
М1821ВИ85А, наверно аналог Z80
М1821ВИ54, - вообще непонятно..
1564ИЕ19 - какой-то счетчик
РУшка 256 по 8 типа старой от АОН
Не Z80, а i8085
ВИ54 -- 82С54, древний программируемый таймер в КМОП

trump_donald

1 year ago

Вот это мощь... не то что наш завод процессор.
Хлам это всё...
США выиграли у Совка...теперь на очереди Китай...

nemurchik

1 year ago

antoschka_smtrt

1 year ago

nemurchik

1 year ago

antoschka_smtrt

1 year ago

nemurchik

1 year ago

antoschka_smtrt

1 year ago

nemurchik

1 year ago

antoschka_smtrt

1 year ago

nemurchik

1 year ago

wandering_glare

1 year ago

nemurchik

1 year ago

wandering_glare

1 year ago

nemurchik

1 year ago

wandering_glare

1 year ago

nemurchik

1 year ago

wandering_glare

1 year ago

nemurchik

1 year ago

wandering_glare

1 year ago

wandering_glare

1 year ago

останки более развитой цивилизации...
Да. По тем временам, а это оборудование и техника примерно 1985 г., было не плохо. В основном оборудование отечественного производства. Специалисты, работавшие на этом оборудовании как раз 60-х годов рождения. Им на пенсию ещё рано.
Так вот ты какой российский техпроцесс 4 нанометра!
Вероятно, сохранись СССР, 40нм достижимо было бы, может и лучше.
Ральф, давно не было привет ! : ) Недавно только вспоминал, думал всё, кончились заброшки )

Бл... впечатляет ! Представил себе ведь всё это надо ПЛАНИРОВАТЬ, ПРОСЧИТАТЬ, выпустить аппаратуру и машины, собрать и подогнать технологический процесс, запустить его, это ж сколько усилий...мдаа, не так прост был совок как казалось... но хорошо что сгинул, RIP.

Спасибо за тур !


да есть ещё запас на отчёты - можно даже по новым не лазать)

aleks_visero

1 year ago

Ну, это уже на тот момент было отставание от конкурентов лет на 30. А это в такой отрасли как каменный век. Абсолютно продать тут за зелень было нечего.
На 30 вряд-ли, это старее самой отрасли, а вот на 5-10 лет возможно.
Но, с учётом специфики продукции (микросхемы для военных) их можно производить пару десятков лет
без изменения характеристик, и покупать будут. Свои, разумеется.

tbapb_xl

1 year ago

wandering_glare

1 year ago

reflex_yu

1 year ago

tbapb_xl

1 year ago

sashman

1 year ago

Previous
← Ctrl ← Alt
Next
Ctrl → Alt →